美国Temescal公司电子束蒸发镀膜系统
产品概述
美国Temescal公司成立于1952年，是真空电子束蒸镀技术的***，提供进的精密镀膜系统以及电子枪组件。Temescal在***控制材料蒸气云分布方面拥有丰富的经验与独到的技术，典型材料如钛、铂、金、钯、银、镍、铝、铬、铜、钼、锡、二氧化硅、氧化铟锡，可获得优异的薄膜沉积均匀性和一致性。
Temescal总部在美国加州，拥有独立完善的设计、制造、销售和研发部门，其关键技术优势着重体现于成套沉积系统和电子枪组件。在高亮度LED、GaAs基无线通信芯片、光通讯器件、太阳能光伏、微机械（MEMS）和声表器件（SAW）等领域拥有很高的声誉和众多***用户。
Temescal***的工艺实现能力包括：高均匀性多层膜系工艺设计，进的大功率电子枪及控制电源，***操作的双开门设计，洁净无油真空系统，多种精密工件架，全自动薄膜工艺控制系统，等等。
产品特点
1. 业内***的真空锁式批量蒸镀系统
2. 整个电子束蒸发源可与腔室分离并转到设备框架之外
3. 高性能电子枪和控制器
4. 所有OEM组件均来自世界***供应商
5. 丰富的剥离(Lift-off)工艺经验
6. 高均匀性和高材料利用率
7. 可靠灵活的全自动控制系统
8. 设备性能完全满足24/7的严格的FAB生产要求
9. 专业的工艺研发和技术支持
技术参数
主要型号
1. FC4400
Temescal型标准系统，真空锁结构设计，适合150mm以上基片工艺的产能化要求
2. FC3800
Temescal大型标准系统，真空锁结构设计，适合各种高产能应用要求
3. FC/BCD2800
Temescal中型生产设备，真空锁结构可选，适合100mm~150mm晶圆工艺生产
4. FC/BJD2000
Temescal小型标准系统，尤其适合小规模生产和研发
设备产能
设备型号 | FC/BJD-2000 | FC/BCD-2800 | FC-3800 | FC-4400 |
2inch 晶圆 | 42 | N/A | N/A | N/A |
3inch 晶圆 | 17 | 47 | N/A | N/A |
100mm 晶圆 | 13 | 25 | 53 | 55 |
150mm 晶圆 | 5 | 12 | 25 | 30 |
200mm 晶圆 | N/A | 6 | 14 | 15 |
主要应用
? 高亮度 LED
? 无线通信 Wireless infrastructure
? 微机电 MEMS
? 表面声波器件 SAW
